真空科学公司生产的PM100等离子清洁器

等离子清洁器帮助SEM操作员保持一个干净的腔室,以获得尽可能高的成像质量。即使非常小心和卫生,扫描电镜室最终也会收集沉积的有机污染物,即使是从室内空气中。通常,样品本身会排出气体,从而在SEM室内形成污染环境。当图像缩小或放大时,这在SEM样品上最为明显的是“黑色矩形”。暗区是碳沉积,是样品表面有机物和碳氢化合物被光束分解的结果。

PM100等离子清洁器实际上可以消除这一问题,并在成像前清洁样品本身。请参阅本页下面的示例。PM100是唯一一款能够在低至1瓦的功率下运行的等离子清洗系统,用户甚至可以清洗最精细的样品原位在成像之前。

PM100可以添加到几乎任何具有可用端口的SEM或真空室中。PM100安装在KF-40法兰上,但可根据要求提供其他法兰选项。如果OEM没有为PM100提供适配器法兰,我们将协助为您的设备制造适配器法兰。

PM100等离子清洁器通过一个完全集成的解决方案——没有外部电子设备,没有电缆束,没有杂乱——为真空室(如扫描电子显微镜)建立了一个新的等离子去污标准。使用专有算法,PM-100在宽功率范围和宽真空水平下提供简单操作,无需调整参数。专利技术确保即使在通常困难的低压(5-25 mTorr)和任何功率下也能可靠地进行等离子点火。操作员只需设置所需的清洁功率和运行持续时间,然后按下“开始”。manbetx提款为什么速度快e狗万活动

等离子清洁器PM100

PM100等离子清洁器可以添加到几乎任何带有自由腔室端口的SEM中。联系我们讨论您的设备类型。万博app官网登录

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应用

PM100等离子清洁器的应用示例:

等离子体清洗前的晶圆

BEFORE–来自先前成像的暗矩形

等离子体清洗后的晶圆

等离子体清洗20分钟后

等离子清洗前的焊盘SEM图像

BEFORE–来自先前成像的暗矩形

等离子清洗后的焊盘SEM图像

等离子体清洗20分钟后

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硬件

PM100等离子清洗机规格:

  1. 等离子功率范围:1至75瓦
  2. 压力范围:10至100毫托
  3. 工作环境:空气、氧气、氢气(根据要求提供其他气体)
  4. 允许的清洁操作时间:1秒至24小时
  5. 安装适配器:KF40(其他根据要求)
  6. 处理器:32位120 MHz Arm®Cortex®M4内核
  7. 控制接口:USB
  8. 功率:24V DC/4A最大值(20W射频下的1A典型值)
  9. 尺寸:230mm长x 100mm x 100mm
  10. 重量:3.4磅(1.6千克)
  11. 包括:控制软件、直流电源、电缆
  12. 可根据要求定制颜色

5年保修-无需签订服务合同

安装示例

CX-200plus SEM上的PM-100等离子清洁器
EM-30plus桌面扫描电镜上的PM-100等离子清洁器